產(chǎn)品名稱

EQ-TM106 膜厚監(jiān)測儀

產(chǎn)品型號

EQ-TM106

主要特點(diǎn)

1 、本機(jī)可與計(jì)算機(jī)連接。

2、顯示儀具有界面簡潔、直觀、合理、操作方便快捷等優(yōu)點(diǎn)，可直觀顯示所測的膜厚、速率、 頻率、 PWM 控制輸出的百分比等工作狀態(tài)。

3、通過軟件或顯示儀可對門控時間、輸出方式、速率算法、材料參數(shù)、輸出量程及通訊參數(shù) 等進(jìn)行設(shè)置， 并可將所測相關(guān)數(shù)據(jù)寫入 Excel 文件。

4、具有體積超小、測量精度高、操作簡單、使用方便等優(yōu)點(diǎn)。

技術(shù)參數(shù)

EQ-TM106-1 監(jiān)測組件

1、電源： DC    5V（±10%），電流 400mA

2、頻率分辨率： ±0.03Hz

3、膜厚分辨率： 0.0136? （鋁）

4、膜厚準(zhǔn)確度： ±0.5%，取決于過程條件，特別是傳感器的位置，材料應(yīng)力，溫度和密度

5、測量速度： 100ms-1s/次，可設(shè)置

6、測量范圍： 500000? （鋁）

7、標(biāo)準(zhǔn)傳感器晶體： 6MHz

8 、計(jì)算機(jī)接口： RS-232/485 串行接口（波特率 1200 、2400 、4800 、9600 、19200 、38400 可 設(shè)置，數(shù)據(jù)位： 8，停止位： 1，校驗(yàn)：無）

9、模擬輸出： 8 比特分辨率， PWM 脈寬調(diào)制輸出（集電極開路或內(nèi)部 5V 輸出）

10、工作環(huán)境： 溫度 0-50℃， 濕度 5%-85%RH，不得有冷凝水珠

11、外形尺寸： 90mm×50mm×18mm

EQ-TM106-2 顯示儀

1、輸入電源： AC 220V±10%

2、輸出電源： DC    5V    3A

3、顯示器： 12×2 數(shù)碼管與 LED

4、通訊端口： RS-485（波特率 1200 、2400 、4800 、9600 、19200 、38400 可設(shè)置，數(shù)據(jù)位：

8 位，停止位： 1 位，奇偶校驗(yàn)：無）

5、外形尺寸： 182mm×65mm×160mm

EQ-TM106-3 探頭

1、適用晶片頻率： 6MHz

2、適用晶片尺寸： ?14mm

3、安裝法蘭： CF35

4、冷卻水管： ?3mm ，長度 300mm 、500mm 、1000mm

5、冷卻水壓： <0.3MPa

6、氣動擋板路管： ?3mm

7、壓縮空氣壓力： <0.8MPa ，>0.5MPa

8、烘烤溫度：通水狀態(tài)<200℃，不通水狀態(tài)法蘭<100℃

9、電氣接口： BCN 插座

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

EQ-TM106-1 監(jiān)測組件

1 個

2

EQ-TM106-2 顯示儀

1 臺

3

EQ-TM106-3 探頭

1 個